重返半导体巅峰 日本擦身而过

　　当今世界前3曝光机制造商依序排名为，荷兰艾司摩尔（ASML）以及日本的尼康（Nikon）、佳能（Canon），尼康与佳能是百年相机老牌不必多说，但是艾司摩尔是什麽来头？这个1984年才成立，年龄只有39岁的小伙，是如何反超2个老前辈，成为众星捧月的半导体设备供应商？

　　台积电浸润式微影技术 只有ASML相信

　　从上世纪80年代截至本世纪初，全球曝光机企业屈指可数，当时的霸主还是美国GCA（1988年被收购）以及尼康和佳能，艾司摩尔在行业内算是无名小卒，不过这样的小卒却非常幸运的碰上2位贵人。

　　第1位贵人：台积电。在2004年以前，曝光机技术主要还是以乾式曝光为主，这时却杀出个林本坚，林本坚时任台积电研发副总经理，2002年发明出浸润式微影技术，这个不被尼康、佳能看好的新技术，当时受到了艾司摩尔的重用，他们一拍即合，仅用1年时间，就在2004年拚全力赶出第1台样机，并先后夺下IBM和台积电等大客户的订单。

　　可以这麽说，艾司摩尔的成功靠的不是自己，而是林本坚，他的193奈米浸润式微影技术能显著提升蚀刻精度，使其成为当时高端曝光机的主流技术方案，一举垄断市场。当然，台积电之后在技术、人才、资金方面持续加码，也促进了艾司摩尔在市场上所向披靡。

　　第2位贵人：英特尔（Intel）。1997年，为了尝试突破193奈米，英特尔早就联合政府、企业成立EUV LLC前沿技术组织，成员除了英特尔以外，还有美国能源部、摩托罗拉（Motorola）、超微半导体（AMD）、IBM，最后1个位置英特尔本想拉尼康和艾司摩尔入伙，问题是，这2间公司1个来自日本、1个来自荷兰，但极紫外光（EUV）被美国视为半导体产业发展的核心技术，所以不希望外企参与其中。最后，艾司摩尔与美国达成协议，正式成为组织一员。

　　美国对日本半导体存戒心

　　艾司摩尔在加入起初就递交投名状，同意在美国建立1所工厂和1个研发中心，以此满足所有美国本土的产能需求，还保证55%的零组件均从美国供应商处采购，并接受定期审查。

　　众所周知的是，日本半导体产业在80年代一度强大到可以吊打美国，逼得美国对日本发动全面贸易战才将日本的半导体产业打下去，所以比起荷兰，美国对日本存有更大戒心，因此才放弃尼康。

　　因为2位贵人的加持，艾司摩尔终于在2015年将极紫外光工艺处于可量产状态，不仅不愁没有地方卖，每家半导体制造商还都抢著要。随后5年，尼康痛失50%以上的曝光机市占率。

　　尼康闭门造车 错失商机

　　加入EUV LLC后的艾司摩尔觉得，一旦研发出极紫外光技术，可能会被美国提防，于是决定让出公司股份，让英特尔、台积电、三星（Samsung）等半导体大厂成为股东，这个决定证实艾司摩尔不仅消除美国顾虑、赢得盟友，还因合作得到许多技术支援。

　　当对手靠产业链一起发力，尼康还在自己搞定。举例而言，三星与台积电生产的是DRAM、ASIC等通用性产品，追求产品通用性有助于生产线规格统一，结果尼康从投影系统、控制台、对位系统、软体甚至机身全是自製，只有照明系统采用德国蔡司（Zeiss）。

　　其结果就是尼康对各构成的知识非常丰富，且有很强的调整与客户应对能力，但各构成系统的最优化方面几乎没有积累。艾司摩尔则与之相反，设备搬入顾客工厂后还能微调模组，不断积累下台曝光机最佳模组化设计的经验，与其他同业相比，艾司摩尔完全是在做全球化曝光机。

　　一步踏错 步步错

　　在那个还在想要把193奈米光波再磨细的年代，半导体大队分出2派人马，1派是EUV LLC，另1派则以尼康为首，尼康既因企业本身，还有顾客面原因，仍主张采用前代技术的基础上，使用157奈米的F2雷射。

　　台积电林本坚的技术他们不是不知道，只是若要改用全新工艺，前期投入的研发、设备等同于推倒重来，简直是革自己的命，若真要采用，谈何容易？不说日企“工匠精神”的心态问题，只说现实层面，未加入EUV LLC、未即时采用浸润技术，尼康与佳能就注定让位半导体设备商冠军宝座。

　　在艾司摩尔推出首台极紫外曝光机后，虽然尼康很快也亮出了乾式微影157奈米技术的成品，但毕竟被艾司摩尔抢了头阵，何况波长还略落后于对手，等到1年后，尼康完成对浸润微影的追赶，也无法再追上艾司摩尔的步伐。

　　以曝光机技术而言，90奈米、45奈米、22奈米分别是1个门槛，90奈米升级到65奈米不难，但65奈米要到45奈米可难了，乾式曝光会在45奈米这个门槛面临极限。所以，当时只要谁能突破这个极限，谁就是赢家，而我们现在都知道这个赢家是谁。